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幽草 2024-11-15 18:37:57 国内 24 次浏览 1个评论

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其中制绒工段和返工片清洗酸雾(氯化氢和氟化物)采取“两级碱喷淋装置”处理后分别由20m高排气筒排放(DA001和DA011);硼扩散产生废气(氯气)采取“两级碱喷淋装置”处理后分别由25m高排气筒排放(DA002和DA012);化学品供应站产生呼吸废气(氯化氢和氟化物)、去BSG工段产生废气(氟化物)以及碱抛工段产生酸雾(氯化氢和氟化物)分别采取2套“碱喷淋装置”处理后分别由20m高排气筒排放(DA003和DA013);LPCVD工段产生废气(颗粒物和硅烷)采取“硅烷燃烧桶+干式除尘器装置”处理后分别由20m高排气筒排放(DA004和DA014);退火磷扩产生废气(氯气和颗粒物)、去PSG工段产生酸雾(氟化物)、RCA工段产生酸雾(氯化氢和氟化物)、石墨舟和石英舟清洗工段产生酸雾(氯化氢和氟化物)分别采取2套“碱喷淋装置”处理后分别由25m高排气筒排放(DA005和DA015);ALD镀膜工段产生废气(颗粒物)、PECVD镀膜工段产生废气(颗粒物、氨气和笑气)以及硅烷站换气废气(颗粒物)采取“硅烷燃烧桶+干式除尘器装置+氨气洗涤塔”处理后分别由20m高排气筒排放(DA006和DA016);丝网印刷废气、烘干废气以及烧结废气(非甲烷总烃)分别经设备自带冷凝和燃烧系统(燃烧塔)预处理后采取“两套两级活性炭吸附”处理后分别由20m高排气筒排放(DA007和DA017);氨气笑气站换气废气(氨气)经1套“氨气洗涤塔”处理后由1根15m高排气筒排放(DA008);危废暂存间废气(非甲烷总烃)经1套“两级活性炭吸附装置”处理后由1根15m高排气筒排放(DA009);污水处理站废气(氯化氢、氟化物、氨和硫化氢)经1套“两级碱喷淋”处理后由1根15m高排气筒排放(DA010)。

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