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金轮法王 2024-11-20 15:22:00 教育 85 次浏览 7个评论

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电池车间制绒、扩散工序产生的氟化氢、氯化氢和氯气经过密闭设备顶部风管收集，经过1套二级NaOH溶液筛板填料洗涤塔处理后通过1根25m高排气筒（DA003）排放；正面刻蚀、碱抛工序产生的氟化氢经过密闭设备顶部风管收集，经过1套二级NaOH溶液筛板填料洗涤塔处理后通过1根20m高排气筒（DA004）排放；背面刻蚀、碱洗工序产生的氟化氢经过密闭设备顶部风管收集，经过1套二级NaOH溶液筛板填料洗涤塔处理后通过1根20m高排气筒（DA005）排放；Poly-PE（沉积）工序产生的尾气（PH3、SiH4）和ALD（钝化）工序产生的尾气（TMA）经过密闭设备顶部风管收集，经1套尾气焚烧筒（电加热，300~400℃，产生颗粒物）+布袋除尘器处理，然后通过1根20m高排气筒（DA006）排放；PECVD（镀膜）工序产生的尾气（NH3、SiH4、N2O）集中收集后由经1套设备自带尾气燃烧器（电加热，300~400℃，产生颗粒物及少量氮氧化物）+布袋除尘器+酸喷淋塔（H2SO4）处理，然后通过1根20m高排气筒（DA007）排放；丝网印刷工序产生的有机废气集中收集后经过1套设备自带器燃烧（电加热，800~900℃）+活性炭吸附装置处理，然后通过1根20m高排气筒（DA008）排放。